雷射準直儀-4軸
型號 : TC-3
雷射準直儀主要量測物件於運動過程中直線度變化，型號TC-3可以同時測量直線運動的四個誤差分量（水平、垂直、偏航和俯仰）。這種同步測量可以縮短測量時間、提高物件移動精度與可靠度。
量測應用例
- 移動平台真直度測量
- 直線導軌的直線度測量
- 橋樑零件檢查
- 射出機模具位置位移測量
- 三座標測量機運動精度的測量
- 表面黏著機噴銲頭直線度測量
圖 1 顯示為準直儀光學系統。
準直儀 結合了利用角錐棱鏡特性的直線位移測量系統和利用自準直儀原理的角位移測量系統。
雷射光束被偏振分束器 (PBS1) 分成相互正交的 P 偏振和 S 偏振光束，水平和垂直於紙面。透射的P偏振光用於測量直線位移，反射的S偏振光用於測量角位移。
改變位置測量和角度測量
如圖3所示，
P偏振光經過PBS1，再經過四分之一波片，由線偏振光變成圓偏振光。然後光束被安裝在被測物體上的角錐棱鏡（CC1）反射，並再次穿過四分之一波片成為S偏振光。
這次被PBS1反射並進入CMOS。
如果 CC1 位移 S，光束將在 CMOS 上移動 2S。換句話說，位移在光學上加倍以提高解析度。
接下來，被PBS1反射的S偏振光被偏振分光鏡(PBS2)反射，穿過四分之一波片，變成圓偏振光。
然後，光線被安裝在待測物體上的鏡子 (M4) 反射。光束再次穿過四分之一波片，變成P偏振光，穿過PBS2，由準直透鏡（L3）聚焦到CCD。
用自準直儀原理檢測M4的傾角，如圖4所示。若L3的焦距為f，則M4傾斜θ時的光束移動量(d)為2θf。
