顯微鏡移動台

型號 : MSS
透過現有顯微鏡更換電控載物台,實現自動化量測。
各種規格載物台提供,相容國際顯微鏡大廠規格。
載物台薄輕,可用於顯微鏡,不會影響精確度。
載台面鋁板可拆卸更換成晶圓載台或可選玻璃板用於透射照明。
* 透過透射照明可觀察到的範圍比移動量窄。外觀圖上的通孔請參考表格。
搭配影像分析控制與分析軟體,執行缺陷檢查。
運動方向:XY軸2個方向
行程距離:參考型號尺寸表
所用馬達:PKP523N12A
解析度:0.002mm
進給螺桿規格:滾珠螺桿
絲槓導程1mm
移動導軌V型槽及交叉滾柱
運動精度:直線度0.010mm(水平)、0.015mm(垂直)
定位精度(1/10行程)X軸0.010mm,Y軸0.010mm
定位精度(全行程):X軸0.030mm,Y軸0.030mm
重複精度:±0.002mm
空程0.003mm
承重能力:49N(5kgf)
最大速度:40mm/s(20,000pps 時)
主要材質/表面處理:鋁合金/黑色陽極氧化啞光
原點感測器:常閉觸點(斷開觸點、B觸點)、光感測器
限位感測器、常閉觸點(斷開觸點、B觸點)操作、光感測器
相容電纜:ACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
標準配件:鋁板、墊片
檢驗證書
內六角螺栓(用於安裝轉接器)M4 x 4,內六角螺栓(用於安裝墊片)M4 x 4
相容顯微鏡製造商尼康
相容顯微鏡:Eclipse LV150/LV150A
連接階段選擇
(參數編號4) 36
補充資訊:* 如果將控制器驅動器 QT-B 系列的連接級選擇(參數編號 4)設為 00(未使用連接設定),請設定控制器驅動器 DIP SW 和參數編號 1 至 3。
●限位開關:關閉對應DIP SW
●參數編號 1(原點感測器邏輯):2(NC)
●參數編號 2(前原點感測器邏輯):0(未使用)
● 參數 No.3(原點返回模式):2(原點,Z 相)、3(原點)、4(限位,Z 相)或 5(限位)
*包括與顯微鏡相容的墊片。