粒子高度掃描儀

型號 : 粒子高度掃描儀

志隆國際科技公司成立初期是以客製化改造為公司主要收入來源,最多的案例是顯微鏡的客製化改造,例如改造顯微鏡倍率、顯微鏡XY載台手動變電控、Z軸手動變電控…等少量多樣化的服務案件,也累積了許多表面量測分析經驗。

在一次偶然機會遇到日本Mintani公司畫像檢測部的營業人員,日本Mitani公司影像分析軟體的改造能力很強且經驗豐富,便與該公司合作開始銷售日本Mitani公司的影像自動分析軟體。我們客製化改造非常靈活,例如客戶預算充分就整套從日本出口,或者軟體部分使用Mitani公司,硬體使用客戶現有的儀器再加上局部修改組合成滿足客戶預算與功能的儀器。志隆科技對於儀器的認知是世上沒有最好的儀器,最符合且滿足客戶當前需求的的儀器,對客戶來說才是最適合的。

目前我們開發成功的案例有流膠量測儀器、刮痕數量測儀器、Diamond Disk鑽石粒高度計算分析儀器。工業4.0帶動自動化量測需求,現在我們與日本Mitani公司合作影像自動化改造能力,為來我們也朝向與代理品牌合作達成自動化目標以滿足客戶需求努力。

粒子高度掃描儀

矽晶圓研磨用鑽石碟,做法是將人造鑽石顆粒植入鑽石碟,常用鑽石碟有4吋與1吋,鑽石碟上的鑽石顆粒大小依設計從數十顆到幾十萬顆不等,鑽石排列也有陣列圖形化排列與亂數排列等多種設計。

粒子高度掃描量測儀以快速方式掃描鑽石碟上鑽石輪廓並計算每個鑽石高度,再統計計算鑽石高度的分布情況。

特色

  • 快速高精度掃描表面高度
  • 量測數據3D圖像化顯示
  • 尺寸掃瞄範圍:X200mm, Y200mm
  • 統計計算樣品高度及數量
  • 色階式顯示高度分佈
  • 異常數據影像輔助判讀

本系統為專業高度掃描量測儀器,掃描速度快速精準,直徑100mm樣品高度掃描及報告分析可在10分鐘之內完成,適合於生產線做全面掃描。
可分析參數:高度,面積,直徑,周長,長寬比
可量測參數:線寬,線距,角度,半徑
系統可選購顯微鏡觀察系統,當數據發現異常時可以點選異常點,影像將自動移動到異常位置,方便了解異常狀況。

基本規格

  • XY軸移動範圍:200mm
  • XY軸取點頻率:20um
  • Z軸量測範圍:10mm
  • Z軸解析度:0.5um
分析級別粒子數量累計數量
011
1001
2001
3023
4014
501317
602037
702259
8046105
9038143
10045188
11042230
12031261
13046307
1405312

當樣品全面掃描完成,軟體會自動計算每個鑽石粒子高度,粒子高度數據可以轉出CSV格式

高度掃描數據轉出做粒子高度自動排列及計算,計算結果用圖形化輸出表示。

軟體可自行定義粒子高度範圍並用顏色區分顯示,簡易快速判讀粒子高度分佈區域

當從圖面發現異常粒子點時,可在圖面上直接點擊異常的位置,載台會自動切換到顯微鏡觀察模式,可從電腦螢幕上觀察異常點並拍照

儀器外觀示意圖圖,本儀器為客製化,外觀尺寸會議規格改變