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表面輪廓量測儀
模具及大型工件
模具及大型工件
總共
3
太陽能聚光鏡片量測儀
PF-600
聚光鏡、花崗石床台精度量測、平面度加工量測表面幾何輪廓，平面度、粗糙度、非球面，15吋以下樣品之全域面積掃描，及擴充自動化量測。
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重型模具輪廓量測 NH-5Ns
NH-5Ns
重型且大行程樣品表面輪廓量測，可承重100kgw，Z軸空間可以改造，量測表面幾何輪廓，平面度、粗糙度、非球面，12吋以下樣品之全域面積掃描。
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晶圓翹曲度量測儀
PF-600
量測膜厚、階差Step Height，翹曲，2D/3D平面度掃描。
表面粗糙度、波紋度量測。
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