超精密光學

日本三鷹光器公司(Mitaka Kohki Co., Ltd.)的雷射表面輪廓儀採用非接觸式方式量測樣品表面形貌，符合ISO 25178-605規範之非接觸式點雷射自動聚焦掃描表面輪廓量測儀，量測儀器優勢在對大行程工件做2D或3D掃描量測非常方便，量測樣品前無需預先輸入設計參數就可對樣品進行掃描量測，量測軸每個軸向都配備光學尺對樣品做高密度取點，數據輸出就是光學尺的點座標，光學尺的精度是奈米精度樣品掃描。

三鷹光器的量測儀器在量測光學鏡片與模仁有其獨特優勢，例如非接觸式量測方法不破壞樣品表面、快速大面積掃描、數據是奈米光學尺精度、儀器規格可客製化改造也是優勢之一，使用三鷹光器量測儀器可以進行複雜的表面輪廓掃描，而且相同量測手法數據重現性非常高。

鏡片量測範例說明:

光學鏡片在接觸式輪廓粗度量測儀的操作下進行樣品量測，接觸針是否會因為操作過程中發生探針崩角而刮傷模具表面。粗度計接觸針尖R2um即使在高倍率光學顯微鏡下也是很難觀察崩角問題，往往刮傷問題都要再多一段刮痕檢查工序，能否量測過程中就連同影像檢查一起執行

圖(1)是一個精密的鏡片表面，高倍率顯微鏡所拍攝到畫像，刮痕並不明顯，裸視樣品表面也不易觀查到刮痕。

圖(2)使用NH-3SPs 機種搭配x100物鏡掃描量測刮痕中心點3D的彩虹圖，樣品中心點刮痕的表面輪廓被精準掃描。

模仁量測範例說明:

精密模仁或精密模具其表面幾何輪廓與尺寸精度極為重要，量測輪廓選擇專用輪廓儀、尺寸量測選擇工具顯微鏡或是座標量測儀、面形部分使用非球面量測儀、粗度部分使用粗度計，往往一台量測儀器無法完成。三鷹光器的量測儀器可結合上述功能

上圖左為模仁斷面輪廓，上圖右擷取一段非球面輪廓，帶入專用非球面分析軟體進行非球面擬合輪廓分析。

高曲度鏡片面形量測:

鏡片輪廓曲度越高量測誤差越大的問題是輪廓量測儀器的限制，解決高取度量測的誤差問題，三鷹光器開發出SE迴轉台治具並搭配多邊形量測法，降低高曲度補正誤差大的困擾，大大提升面形精度，配選購SE迴轉機構做樣品全周輪廓掃描如下圖。