Contami Analyzer 晶圓缺陷檢查

Contami Analyzer異物篩檢系統是利用圖像處理方法，構建外觀檢查系統。例如構建能夠通過目視和自動檢查，分析圓晶上的蝕刻圖形的寬度和高度，識別異物等，進行合格與否判定的系統。可在廣泛的行業中應用，例如半導體晶圓、玻璃基板異物檢查、化學品過濾器的殘渣檢查、汽車零部件清洗時的膜過濾器檢查（ISO16232標準規範）等。

本套系統可安裝在光學顯微鏡、數位顯微鏡、實體顯微鏡、微距鏡頭等，搭配電控移動載物台進行高精度影像辨識，並將掃描過程拍照存檔，提供後續再分析應用。

原廠另外開發出AI深層式學習辨識軟體，可因應客戶產品需求開發。例如：在圓晶(或)過濾器表面的圖形、缺陷、異物的檢查中，隨著製成改變衍伸另一種缺陷，透過AI學習方法定義出新型態缺陷，成為尋檢目標之一，提高檢查精度。

若工廠內已經有顯微鏡，正在探討減少作業人員的誤差、升級自動化檢查系統，只要購入軟體與電控載物台便可達成自動化掃描。其他場景如：被迫以觀察顯微鏡的固定姿勢長時間作業、進行目視檢查時，不知道檢查過哪些地方、希望利用原有設備來擴充，降低建置成本，都歡迎來電做技術討論。

• 快速檢查：僅用約1分鐘即可對直徑47mm的圓形過濾器進行掃描處理。
• 自動修補照明不均：根據攝影環境，消除因照明或鏡頭像差等導致的亮度不均現象，確保檢查之正確。
• 複查功能：單擊影像即可顯示檢查圖像，亦可將載物台移動到檢查位置。
• 通過目視檢查更放心：在複查中發現到錯誤檢查判定的圖像及顆粒等，可以用目視來確認。
• Excel®報表輸出：檢查結果可以輸出到微軟公司Excel®中。
• 統計計算：抽取的顆粒，可以根據顆粒尺寸等自動創建、顯示統計數據