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Barrel 量測
非接觸式: 沒有接觸應力造成變形及刮傷
即時影像觀察: 可從畫像上了解量測位置是否正確量測
雷射觸針小: 雷射光點直徑2um(x50) 等同接觸式觸針大小
絕對座標顯示: 光學尺(德國海德漢)最高解析1nm
量測速度快: 數分鐘可以完成1個barrel偏心(真圓度)量測
可程式設定: 可針對量測樣品設計量測條件程式檔
符合ISO規範: ISO25178-65 PAP量測法
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