HUD FREE FORM 量測

非接觸式掃描方法, 量測速度快, 避免試片表面刮傷
量測再現性0.03um 高精度樣品掃描
球面鏡, 非球面鏡, 抬頭顯示器, 自由曲面鏡量測
輪廓及粗度量測
 
對於大鏡片量測, 使用接觸式方式, 在量測樣品速度上沒有佔太大優勢, 在量測過程中是否量測探針崩角, 導致刮傷樣品表面,量測數據欠佳...等諸多不可確定因素發生, 
Mitaka量測機,是非接觸式的量測方法, 完全補救接觸式在鏡片量測上的缺失,
加上點雷射自動聚焦方法,符合ISO-25178-605規範, 量測數據奈米解析,可真正達到高精度量測需求

HUD 695