齒輪形貌粗度量測儀

採用非接觸式點自動聚焦法, 符合ISO 25178-605量測規範, 量測樣品全周輪廓及3D輪廓
儀器採用5軸控制,搭配光學尺數據檢出,解析度最高0.001um.
本量測儀器優勢在量測0.5以下之小模數齒輪齒形,如 標準齒輪, 內齒輪, 螺旋齒輪, 傘齒輪, 鐘錶齒輪,小模數齒輪, 諧波齒輪 等 齒形輪廓量測評價
非接觸式方法量測齒輪輪廓,無探針磨耗銷耗品費用及量測數據不確定性
專用齒輪評價軟體,判定齒面粗糙度評價,齒輪嚙合,齒輪輪廓, 3D CAD公差比對

量測齒輪模數小於0.5以下及MEMS
 
儀器規格
雷射光點: 1um(物鏡x50)
XYZ 載台:120x90x130 mm
AF(R):40mm    
AZ迴傳軸:360゜XYZ 光學尺解析: 0.1x0.1x0.1um  
AF(R)光學尺解析:0.01um
AZ光學齒解析 : 0.0002゜
量測範例:
1. 機械錶齒輪評價

Gear Trans Error


2. 小模數齒輪內外徑偏心評價
gear dia 500

3. 精密小齒輪全周輪廓
watch gear1


4. 微結構精密小齒輪
watch gear2