透鏡自動化量測 PF-60

載台量測行程 XYZ : 60 x 60 x 10 mm
工件檯面尺寸 XY : 200 x 200 mm
光學尺解析度 XYZ : 0.1 x 0.1 x 0.01um
自動聚焦再現性 AF σ=0.03 um

其他功能擴充需求, 歡迎來電詢問
自動中心點定位及量測
高速量測 (1min/piece)
高陡坡精密量測(水平傾角小於 35°)
容易置放樣品托盤. 無須真空吸附治具
量測範例:

sspherical 500

非球面透鏡輪廓


Design R 500
光學設計fit

Best R 500
最佳化fit