雷射輪廓儀 PF-150 6"樣品

採用ISO 25178-605認可之點雷射自動聚焦探針量測法(PAP),高精度雷射量測自動聚焦表面輪廓計,XYZ三軸光學保證精度0.001um(選配), 表面輪廓/表面粗度同時量測, 另外可擴充批量自動量測模組, 適合研究開發與生產管理
適合量測材料: 材料透明,不透明,軟質,硬質,顏色深,顏色淺,反射率高,反射率低...等都可以量測,
可量測樣品範例如 : 表面輪廓 , 表面粗度, V Groove 輪廓 , 體積磨耗 , 尺寸段差角度, 平坦度量測, step height, ...等
產品應用: 精密滑軌,精密螺絲,精密齒輪,精密軸承,玻璃面板,生物晶片,橡膠製品,半導體晶圓,光阻,Bump,隱形眼鏡,油脂...等

 
載台量測行程XYZ : 150x150x10 mm
光學尺解析度XYZ : 0.1x0.1x0.01um
自動聚焦再現性σ=0.03um(鏡面標準片量測)
量測機內建防震系統、量測數據再現性佳
2D 粗度量測分析:ISO4278、JIS B0601、ASTM B46.1、
3D 表面粗糙度 : ISO25178 
平面度分析 : ISO 12781

選購功能 : 自動量測模組
量測範例:

VG-3d 500
光學透明導光板V groove 3D輪廓掃描 


disk 500
晶圓研磨用鑽石輪3D掃描, 計算統計高度分布


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