表面輪廓儀
結合表面輪廓儀與表面粗度儀功能之2合1量測儀器,採用ISO 25178-605認可之點雷射自動聚焦探針量測法(PAP),高精度雷射量測自動聚焦表面輪廓計,XYZ三軸光學保證精度0.001um(選配), 表面輪廓/表面粗度同時量測, 另外可擴充批量自動量測模組, 適合研究開發與生產管理
適合量測材料: 材料透明,不透明,軟質,硬質,顏色深,顏色淺,反射率高,反射率低...等都可以量測,
可量測樣品範例如 : 表面輪廓 , 表面粗度, V Groove 輪廓 , 體積磨耗 , 尺寸段差角度, 平坦度量測, step height, ...等
產品應用: 精密滑軌,精密螺絲,精密齒輪,精密軸承,玻璃面板,生物晶片,橡膠製品,半導體晶圓,光阻,Bump,隱形眼鏡,油脂...等
適合量測材料: 材料透明,不透明,軟質,硬質,顏色深,顏色淺,反射率高,反射率低...等都可以量測,
可量測樣品範例如 : 表面輪廓 , 表面粗度, V Groove 輪廓 , 體積磨耗 , 尺寸段差角度, 平坦度量測, step height, ...等
產品應用: 精密滑軌,精密螺絲,精密齒輪,精密軸承,玻璃面板,生物晶片,橡膠製品,半導體晶圓,光阻,Bump,隱形眼鏡,油脂...等
