表面輪廓儀

採用ISO認可之點雷射自動聚焦探針量測法(PAP),唯一高精度雷射量測自動聚焦表面輪廓計,重複精度高,
適合量測材料: 透明,不透明,軟質,硬質,顏色深,顏色淺,反射率高,反射率低之材料都可以量測,
可量測樣品範例如 : 表面輪廓 , 表面粗度, V Groove 輪廓 , 體積磨耗 , 尺寸段差角度, 平坦度量測, step height, ...等
產品應用: 精密滑軌,精密螺絲,精密齒輪,精密軸承,玻璃面板,生物晶片,橡膠製品,半導體晶圓,隱形眼鏡,油脂...等
再現性:1σ=0.03um(鏡面標準片量測)
雷射光點聚焦:ψ1um(obj.x100)
樣品量測角度:87度
載物台精度: (2+4L/1000)um
長行程工作範圍 (客製化可)
XYZ 載台60x60x10 mm
XYZ 解析0.1x0.1x0.01um
量測機內建防震系統、量測數據再現性佳
粗度分析:ISO4278、JIS B0601、ASTM B46.1
ISO25178 表面形貌量測
量測樣品範例:
H-DIP-2D-400
cup 500
VG 500