表面輪廓儀

結合表面輪廓儀與表面粗度儀功能之2合1量測儀器,採用ISO 25178-605認可之點雷射自動聚焦探針量測法(PAP),高精度雷射量測自動聚焦表面輪廓計,XYZ三軸光學保證精度0.001um(選配), 表面輪廓/表面粗度同時量測, 另外可擴充批量自動量測模組, 適合研究開發與生產管理
適合量測材料: 材料透明,不透明,軟質,硬質,顏色深,顏色淺,反射率高,反射率低...等都可以量測,
可量測樣品範例如 : 表面輪廓 , 表面粗度, V Groove 輪廓 , 體積磨耗 , 尺寸段差角度, 平坦度量測, step height, ...等
產品應用: 精密滑軌,精密螺絲,精密齒輪,精密軸承,玻璃面板,生物晶片,橡膠製品,半導體晶圓,光阻,Bump,隱形眼鏡,油脂...等
聚焦再現性:1σ=0.03um(鏡面標準片量測)
雷射光點聚焦:ψ1um(obj.x100)
樣品量測角度:87度
載物台精度: (2+4L/1000)um
長行程工作範圍 (客製化可)
XYZ 載台60x60x10 mm
XYZ 解析0.1x0.1x0.01um
量測機內建防震系統、量測數據再現性佳
粗度量測分析:ISO4278、JIS B0601、ASTM B46.1
3D粗糙度量測分析 : ISO25178
幾何輪廓量測 : R徑, 距離, 角度, 輪廓度, 公差設定, CAD(DXF)比對
量測樣品範例:

Die punch 695
精密沖壓零件, 量測斷面輪廓



VG 695x435
精密洗削零件量測V groove 尺寸, 計算幾何輪廓變化