齿轮形貌粗度量测仪

非接触式齿轮轮廓及粗度量测
唯一可量测齿轮模数小于0.5之非接触式量测仪
内齿轮量测, 正齿轮量测
最小雷射光点 1um(obj.x100 NA0.95)
长行程工作范围 (客制化可)
XYZ 载台120x90x130 mm
AF(R):40mm    
AZ回传轴:360゜
XYZ 解析: 0.1x0.1x0.1um  
AF(R)解析:0.01um
AZ解析 : 0.0002゜
非接触式方法,量测齿轮轮廓,T 齿轮模数及形状粗度粗度
渐开线齿轮, 非渐开线齿轮, 正齿轮, 内齿轮, 伞齿轮...等各式齿轮量测
可量测齿轮模数小于0.5之非接触式量测仪